پردازش لیزری لایه های نازک و ریزساختار: اکسیداسیون، رسوب گذاری و اچ کردن عایق ها
Laser Processing of Thin Films and Microstructures: Oxidation, Deposition and Etching of Insulators
نویسنده: Dr. Ian W. Boyd (auth.)
ناشر: Springer-Verlag Berlin Heidelberg
سال انتشار: 1987
تعداد صفحات: 320 [327]
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 17 مگابایت